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高精度PPB級痕量氧分析儀—GPR-1600UHP
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體行業(yè)。
簡述
GPR-1600UHB系列痕量氧分析儀采用最新的Pico-lon技術(shù)燃料電池,具有分辨率高,長期漂移小,壽命長,響應(yīng)和恢復(fù)時間快,勿需維護(hù)等優(yōu)點。開創(chuàng)了電化學(xué)燃料電池測量PPB級痕量氧的新時代。
技術(shù)參數(shù)
原 理:Pico-lon技術(shù)電化學(xué)傳感器。
量 程:0 ~ 100ppb,0 ~ 1/10/100ppm O2自動/手動調(diào)節(jié)。
準(zhǔn)確度:量程的2%(在常溫,常壓下)。
分辨率:量程的0.1%。
傳感器壽命:18個月(在100ppm下)。
線性度:R平方值>0.995。
校準(zhǔn)氣:建議采用800ppb O2 in N2標(biāo)準(zhǔn)氣。
響應(yīng)時間:60秒達(dá)到90%。
回復(fù)時間:15分鐘從9ppm(1分鐘)到10ppb。
體 積:臺式13.9" x 9.9" x 13.4" 。
GPR-1600UHP
電器特征
認(rèn) 證:ISO9001,CE認(rèn)證。
顯 示:大屏幕LCD顯示,實時顯示樣氣壓力和溫度。
控制鍵:帶有四個防水按鍵,可方便地選擇量程、校準(zhǔn)、報警和系統(tǒng)設(shè)置功能。
智能性:量程自動切換功能,數(shù)據(jù)自動存儲功能和圖形顯示,通過USB遠(yuǎn)端控制。
溫漂抑制:帶恒溫控制系統(tǒng)、自動壓力和溫度補(bǔ)償功能。
輸 出:USB數(shù)字接口,0~1V或隔離的4~20mA模擬輸出,量程提示輸出。
報 警:兩路繼電器報警輸出,電源失敗報警輸出,傳感器失敗報警輸出。
電 源:220 V AC@50Hz。
操作條件
測量介質(zhì):H--2、He、惰性氣體等。
壓 力:10 ~ 100psig。
溫 度:5 ~ +45℃。
流 量:1 ~ 3 SCFH,推薦:2 SCFH((約1升/每分鐘)。
樣氣系統(tǒng)
壓力調(diào)節(jié)閥,流量控制閥和流量計,快速吹掃旁路系統(tǒng)。進(jìn)氣口采用1/4"VCR接頭,出氣口采用1/4”卡套接頭。
選件
—面板安裝,壁掛安裝,19”支架安裝。
—其它量程:0 ~ 50/500ppb, 0 ~ 5/50ppm O2。
—“零”氣組件。
—氣動閥旁路系統(tǒng)。